致研真空安定性測試儀調試步驟

如圖所示，這是致研科技定制完成的一臺真空安定性測試儀，該儀器的調試步驟如下： 1）真空系統密封性檢驗和壓力傳感器校準。 2）插上電源，把真空表上的放氣閥（“16”）轉向通大氣，打開前 面板上真空啟停電源開關（ “2”），檢查真空泵抽氣是否正常。

3）檢驗真空泵抽氣正常后，關閉真空泵電源開關（“2”），用真空
表零點調節（“20”），調好精密真空表指針零點，打開電源開關（“4”），穩定約5～10分鐘，觀察測壓表讀數。

4）關閉放氣閥（“16”），打開二通閥（“19”）和測壓閥（“23”）。

5）校準測壓表調零和大氣壓力讀數。

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